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電子半導體凈化車間安全工作規范內容

作者:超級管理員 瀏覽量:648 來源:本站 時間:2022-05-30 09:31:00

信息摘要:

一、步入凈化車間前期準備工作;1. 進入凈化車間前,必須經過凈化工程公司專業培訓。2. 進入凈化車間嚴禁吸煙,吃(飲)食,外來雜物(如報章,雜志,鉛筆...等)不可攜入,并嚴禁嘻鬧奔跑及團聚談天。3. 進入無塵室前,需在規定之處所脫鞋,將鞋置于鞋柜內,外衣置于衣柜內,私人物品置于私人柜內,柜內不可放置食物。4. 進入無

一、步入凈化車間前期準備工作;1. 進入凈化車間前,必須經過凈化工程公司專業培訓。2. 進入凈化車間嚴禁吸煙,吃(飲)食,外來雜物(如報章,雜志,鉛筆...等)不可攜入,并嚴禁嘻鬧奔跑及團聚談天。3. 進入無塵室前,需在規定之處所脫鞋,將鞋置于鞋柜內,外衣置于衣柜內,私人物品置于私人柜內,柜內不可放置食物。4. 進入無塵室須先在更衣室,將口罩,無塵帽,無塵衣以及鞋套按規定依程序穿戴整齊,再經空氣洗塵室洗塵,并踩踏除塵地毯(洗塵室地板上)方得進入。5. 戴口罩時,應將口罩戴在鼻子之上,以將口鼻孔蓋住為原則,以免呼吸時污染芯片。6. 穿著無塵衣,無塵帽前應先整理服裝以及頭發,以免著上無塵衣后,不得整理又感不適。7. 整肅儀容后,先戴無塵帽,無塵帽的穿戴原則系:(1)頭發必須完全覆蓋在帽內,不得外露。(2)無塵帽之下擺要平散于兩肩之上,穿上工作衣后,方不致下擺脫出,裸露肩頸部。8. 無塵帽戴妥后,再著無塵衣,無塵衣應尺吋合宜,才不致有褲管或衣袖太短而裸露皮膚之虞,穿衣時應注意帽之下擺應保平整之狀態,無塵衣不可反穿。 潔凈網- ]r1O w:w9*42w+BV9. 穿著無塵衣后,才著鞋套,拉上鞋套并將鞋套整平,確實蓋在褲管之上。10. 戴手套時應避免以光手碰觸手套之手掌及指尖處(防止鈉離子污染),戴上手套后,應將手套之手腕置于衣袖內,以隔絕污染源。11. 無塵衣著妥后,經洗塵,并踩踏除塵毯,方得進入無塵室。12. 不論進入或離開無塵室,須按規定在更衣室脫無塵衣,不可在其它區域為之,尤不可在無塵室內邊走邊脫。13. 無塵衣,鞋套等,應定期清洗,有破損,脫線時,應即換新。14. 脫下無塵衣時,其順序與穿著時相反。15. 脫下之無塵衣應吊好,并放于更衣室內上層柜子中;鞋套應放置于吊好的無塵衣下方。16. 更衣室內小柜中,除了放置無塵衣等規定物品外,不得放置其它物品。17. 除規定紙張及物品外,其它物品一概不得攜入無塵室。18. 無塵衣等不得攜出無塵室,用畢放置于規定處所。19. 口罩與手套可視狀況自行保管或重復使用。20. 任何東西進入無塵室,必須用灑精擦拭干凈。21. 任何設備的進入,請知會管理人,在無塵室外擦拭干凈,方可進入。22. 未通過考核之儀器,禁止使用,若遇緊急情況,得依緊急處理步驟作適當處理,例如關閉水、電、氣體等開關。23. 無塵室內絕對不可動火,以免發生意外。二、無塵室操作須知1.   處理芯片時,必須戴上無纖維手套,使用清洗過的干凈鑷子挾持芯片,請勿以手指或其它任何東西接觸芯片,遭碰觸污染過的芯片須經清洗,方得繼續使用:(1) 任何一支鑷子前端(即挾持芯片端)如被碰觸過,或是鑷子掉落地上,必須拿去清洗請勿用紙巾或布擦拭臟鑷子。(2) 芯片清洗后進行下一程序前,若被手指碰觸過,必須重新清洗。(3) 把芯片放置于石英舟上,準備進爐管時,若發現所用鑷子有污損現象或芯片上有顯眼由鑷子所引起的污染,必須將芯片重新清洗,并立即更換干凈的鑷子使用。2. 芯片必須放置盒中,蓋起來存放于規定位置,盡可能不讓它暴露。3. 避免在芯片上談話,以防止唾液濺于芯片上,在芯片進擴散爐前,請特別注意,防止上述動作產生,若芯片上沾有纖維屑時,用氮氣槍噴之。4. 從鐵弗龍(Teflon)晶舟,石英舟(Quartz Boat)等載具(Carrier)上,取出芯片時,必須垂直向上挾起,避免刮傷芯片,顯微鏡鏡頭確已離芯片,方可從吸座上移走芯片。5. 芯片上,若已長上氧化層,在送黃光室前切勿用鉆石刀在芯片上刻記。6. 操作時,不論是否戴上手套,手絕不能放進清洗水槽。 7. 使用化學站或烤箱處理芯片時,務必將芯片置放于鐵弗龍晶舟內,不可使用塑料盒。8. 擺置芯片于石英舟時,若芯片掉落地上或手中則必須重新清洗芯片,然后再進氧化爐。9. 請勿觸摸芯片盒內部,如被碰觸或有碎芯片污染,必須重作清洗。10. 手套,廢紙及其它雜碎東西,請勿留置于操作臺,手套若燒焦、磨破或纖維質變多必須換新。11. 非經指示,絕不可開啟不熟悉的儀器及各種開關閥控制鈕或把手。12. 奇怪的味道或反應異常的溶液,顏色,聲響等請即通知相關人員。13. 儀器因操作錯誤而有任何損壞時,務必立刻告知負責人員或老師。14. 芯片盒進出無塵室須保持干凈,并以保鮮膜封裝,違者不得進入。15. 無塵室內一律使用原子筆及無塵筆記本做記錄,一般紙張與鉛筆不得攜入。三、黃光區操作須知1. 濕度及溫度會影響對準工作,在黃光區應注意溫度及濕度,并應減少對準機附近的人,以減少濕、溫度的變化。2. 上妥光阻尚未曝光完成之芯片,不得攜出黃光區以免感光。3. 己上妥光阻,而在等待對準曝光之芯片,應放置于不透明之藍黑色晶盒之內, 盒蓋必須蓋妥。4. 光罩使用時應持取邊緣,不得觸及光罩面,任何狀況之下,光罩鉻膜不得與他物接觸,以防刮傷,光罩之落塵可以氮氣槍吹之。 5. 曝光時,應避免用眼睛直視曝光機汞燈。四、鑷子使用須知1. 進入實驗室后,應先戴上手套后,再取鑷子,以免沾污。2. 唯有使用干凈的鑷子,才可持取芯片,鑷子一旦掉在地上或被手觸碰,或因其它原因而遭污染,必須拿去清洗,方可再使用。半導體無塵車間

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