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光學(xué)微電子凈化工程解決方案

作者:廣州無(wú)塵車(chē)間 瀏覽量:1431 來(lái)源:廣州科凌凈化工程有限公司 時(shí)間:2021-11-24 14:52:41

信息摘要:

凈化工程解決方案:凈化工程的設(shè)計(jì)過(guò)程中,應(yīng)加強(qiáng)對(duì)光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠(chǎng)房改造工程,并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況,同時(shí)還要考慮到生產(chǎn)廠(chǎng)家的經(jīng)濟(jì)承受能力,綜合各種因素來(lái)確定采用何種凈化方案,這樣才可

凈化工程解決方案:
凈化工程的設(shè)計(jì)過(guò)程中,應(yīng)加強(qiáng)對(duì)光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠(chǎng)房改造工程,并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況,同時(shí)還要考慮到生產(chǎn)廠(chǎng)家的經(jīng)濟(jì)承受能力,綜合各種因素來(lái)確定采用何種凈化方案,這樣才可設(shè)計(jì)出一個(gè)能滿(mǎn)足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價(jià)合理、經(jīng)濟(jì)節(jié)能實(shí)用的方案。
 光電車(chē)間凈化工程

1、組合式空氣處理機(jī)組+冷水機(jī)組+高效送風(fēng)口
這是一個(gè)最傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段,如混合段、初效過(guò)濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過(guò)濾段、風(fēng)機(jī)段等。其冷源由冷水機(jī)組提供。
凈化工程優(yōu)點(diǎn):
A.空氣處理效果好,因空氣經(jīng)過(guò)集中處理,在送風(fēng)過(guò)程中被污染程度較低。送風(fēng)的溫度、濕度的控制比較精確;
B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠(chǎng)房;
C.空調(diào)冷熱源可與廠(chǎng)房普通空調(diào)系統(tǒng)合用或獨(dú)立冷熱源;
D.維修頻率較低;
E.車(chē)間的噪音低。
凈化工程缺點(diǎn):
A.需要有配套的冷凍機(jī)房或有放置熱泵機(jī)組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機(jī)組的空調(diào)機(jī)房,如25000m3/h的組合式空氣處理機(jī)組,常用外形尺寸為6450×1850×2250mm左右。對(duì)于舊廠(chǎng)房改造項(xiàng)目來(lái)說(shuō)比較困難空出一個(gè)20-30┫的機(jī)房的;
B.造價(jià)高。
凈化工程特點(diǎn):
A.建議新風(fēng)經(jīng)過(guò)集中處理后再與回風(fēng)混合,這樣可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān);
C.這類(lèi)方案一般可以適用潔凈度較高的如百級(jí)、千級(jí)或萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)等較低的凈化無(wú)塵廠(chǎng)房。
 
2、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之水冷柜機(jī)+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口
與前種方案比較,這是相對(duì)比較簡(jiǎn)單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機(jī)房的面積,水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小機(jī)房?jī)?nèi)或凈化車(chē)間內(nèi),增壓風(fēng)柜也可以布置于機(jī)房?jī)?nèi)或吊在機(jī)房?jī)?nèi)或在夾層內(nèi)。
優(yōu)點(diǎn):
A.空氣處理效果較好的,處理過(guò)后的空氣在送風(fēng)過(guò)程中被污染程度低。送風(fēng)的溫度、濕度控制效果可以達(dá)到較好的控制。主要在空氣處理機(jī)組(增壓風(fēng)柜)里進(jìn)行控制;
B.布置靈活。自帶冷源;
C.大小廠(chǎng)房、新舊廠(chǎng)房都適用;
D.維修頻率較低;
E.車(chē)間噪音低。
缺點(diǎn):
A.需要小面積的機(jī)房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;
B.空調(diào)機(jī)組與空調(diào)處理機(jī)組要集中布置;
C.造價(jià)較低。特點(diǎn):這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng),具體根據(jù)車(chē)間的大小情況而定;這類(lèi)方案一般可以適用于潔凈度為千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)等的凈化無(wú)塵廠(chǎng)房。
3、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之分體空調(diào)柜機(jī)++FFU送風(fēng)口
這是最簡(jiǎn)易的一個(gè)空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車(chē)間內(nèi),并用彩鋼圍護(hù)起來(lái),在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開(kāi)回風(fēng)口(帶初效過(guò)濾網(wǎng));KLC風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個(gè)方案適用于對(duì)室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無(wú)塵車(chē)間。
優(yōu)點(diǎn):
A.不需要占用機(jī)房面積,布置很靈活的;
B.可以滿(mǎn)足空氣的潔凈度;
C.造價(jià)最低。如此類(lèi)無(wú)塵車(chē)間初投資約需要40萬(wàn);
D.送風(fēng)均勻度好。
缺點(diǎn):
A.溫濕度控制較差;
B.可以滿(mǎn)足空氣的潔凈度;
C.FFU的維修頻率高。
 
4、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之無(wú)塵車(chē)間的特點(diǎn)
A、無(wú)塵車(chē)間的潔凈度:
LCD制屏的簡(jiǎn)略流程為:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線(xiàn)和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
在本設(shè)計(jì)里是指末端工藝的一些無(wú)塵車(chē)間,其凈化潔凈度一般為千級(jí)或萬(wàn)級(jí)或十萬(wàn)級(jí)。背光屏類(lèi)無(wú)塵車(chē)間主要是這類(lèi)產(chǎn)品的沖壓車(chē)間、組裝等無(wú)塵車(chē)間,其潔凈度一般為萬(wàn)級(jí)或十萬(wàn)級(jí)。
B、室內(nèi)空氣參數(shù)要求 :
(1)溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對(duì)濕度為55+5%。
(2)新風(fēng)量大。由于這類(lèi)車(chē)間內(nèi),人員比較多,可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的最大值:非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮 空氣量≥40m3/h。
(3)送風(fēng)量大。為了滿(mǎn)足潔凈室內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡,需要較大的送風(fēng)量,就300平方米的車(chē)間,吊頂高度為2.5米的,如果是萬(wàn)級(jí),送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥25次/h);如果是十萬(wàn)級(jí),送風(fēng)量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥15次/h)。

 

凈化工程設(shè)計(jì)方案分析對(duì)于常規(guī)電子廠(chǎng)房潔凈室空調(diào)的設(shè)計(jì),應(yīng)根據(jù)電子廠(chǎng)房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟(jì)條件來(lái)選用哪種空調(diào)設(shè)計(jì)方案,以滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。根據(jù)以往經(jīng)驗(yàn),對(duì)于要求高的可以選用組合式空氣處理機(jī)組集中處理的空調(diào)方案;對(duì)于要求不高的,又要初投資低的,可以選用柜機(jī)+FFU??傊?,具體的方案選擇根據(jù)具體情況而定。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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