無(wú)塵車(chē)間，凈化工程施工工藝要點(diǎn)無(wú)塵車(chē)間不同級(jí)別空氣潔凈度的空氣過(guò)濾器的選用、布置要點(diǎn)：對(duì)于300000級(jí)空氣凈化處理，可采用亞高效過(guò)濾器代替高效過(guò)濾器；空氣潔凈度100級(jí)、10000級(jí)及100000級(jí)的空氣凈化處理，應(yīng)采用初、中、高效過(guò)濾器三級(jí)過(guò)濾器；中效或高效空氣過(guò)濾器宜按小于或等于額定風(fēng)量選用；中效空氣過(guò)濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)的正壓段；高效或亞高效空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的末端。

1）、 土建工程結(jié)構(gòu)完工，復(fù)核結(jié)構(gòu)工程地面水平度、符合要求

2）、 首先對(duì)現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行總體平面劃線放樣，

3）、 安裝詳圖在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行實(shí)際尺寸的復(fù)核；

4）、 對(duì)整個(gè)車(chē)間，風(fēng)、水、電、工藝、設(shè)備、自控儀表等各個(gè)專(zhuān)業(yè)，及與車(chē)間結(jié)構(gòu)相關(guān)的安裝進(jìn)行全方位三維立體系統(tǒng)排布，并充分考慮安裝及今后維護(hù)保養(yǎng)；

5）、 裝飾表面應(yīng)擦拭干凈，漆面無(wú)刮痕、毛刺、膠痕，墻板及吊頂面應(yīng)牢固、平整、無(wú)晃動(dòng)。

6）、 參照冷庫(kù)板的安裝方式，嚴(yán)格控制冷橋形成。無(wú)塵車(chē)間

7）、 密閉門(mén)開(kāi)啟應(yīng)輕巧、靈活、可靠，關(guān)閉后應(yīng)保證密封狀態(tài)。

8）、 各手動(dòng)門(mén)也應(yīng)開(kāi)啟輕巧、靈活、可靠。

9）、 各燈具應(yīng)能正常開(kāi)啟，保證潔凈室、潔凈走廊燈光明亮。

10）、 各洗手池安裝排放整齊、美觀，各水龍頭能達(dá)到工作狀態(tài)，無(wú)漏水現(xiàn)象。

11）、 各個(gè)潔凈室應(yīng)急電源能達(dá)到正常工作狀態(tài)，動(dòng)作靈敏、可靠。

12）、 墻面安裝完畢后進(jìn)行高效箱的安裝，然后進(jìn)行頂板、燈帶安裝、前后門(mén)窗安裝；

13）、 鋼墻體進(jìn)行工廠化制作加工，板面的平整度縱、橫不得大于0.5mm；

14）、 鋼板墻體的垂直度2m內(nèi)偏差，不得大于3mm，水平偏差2m內(nèi)不得大于3mm；

15）、 嚴(yán)格控制預(yù)制彩鋼板墻的留孔尺寸與現(xiàn)場(chǎng)安裝的尺寸的吻合；

16）、 鋼板頂?shù)牡跫荛g距必須小于2.5m，并采用可調(diào)式吊架；

17）、 嚴(yán)格焊接的工藝操作，控制焊接質(zhì)量；

18）、 施工場(chǎng)地用水、電等臨時(shí)設(shè)施，能滿足施工要求

19）、 現(xiàn)場(chǎng)管理 制定凈化區(qū)域施工管理制度，控制人物流造成的區(qū)域污染。

20）、 定位放線：依據(jù)圖紙給定的尺寸，先彈出各潔凈廊隔墻的龍骨外包線（軸線減隔墻厚減外飾面奪厚），燈具、設(shè)備開(kāi)孔處的尺寸，安裝部門(mén)書(shū)面提供并協(xié)助放線；無(wú)塵車(chē)間

21）、 材料進(jìn)場(chǎng) 潔凈廠房構(gòu)件應(yīng)按施工進(jìn)度計(jì)劃要求，運(yùn)抵安裝現(xiàn)場(chǎng)，輕搬輕放，避免劃傷，并分類(lèi)整齊堆放，嚴(yán)加保管。

22）、 測(cè)量放線 嚴(yán)格對(duì)照施工圖，現(xiàn)場(chǎng)測(cè)定軸線，標(biāo)高尺寸，清理安裝現(xiàn)場(chǎng)，準(zhǔn)確放出大樣。壁板安裝前必須嚴(yán)格放線，墻角應(yīng)垂直交接，防止累積誤差造成壁板傾斜扭曲。壁板的垂直度偏差不大于0.2%。

23）、 材料檢驗(yàn)：潔凈室構(gòu)配件材料安裝前，嚴(yán)格檢查其規(guī)格性能和完好程度，不合格或已損壞的構(gòu)配件材料嚴(yán)禁安裝。

24）、 結(jié)構(gòu)連接：在施工安裝時(shí)，應(yīng)首先進(jìn)行吊件、鉚固件等與主體結(jié)構(gòu)和樓面、地面的連接件的固定。

25）、 隱蔽驗(yàn)收：在凈化室安裝的施工過(guò)程中必須隨時(shí)清掃灰塵，對(duì)掩蔽空間的清掃應(yīng)做好清掃記錄。

26）、 現(xiàn)場(chǎng)清理：安裝現(xiàn)場(chǎng)必須隨時(shí)保持清潔，無(wú)積塵，并在施工過(guò)程中對(duì)零部件和場(chǎng)地隨時(shí)清掃、擦凈。

27）、 成品保護(hù)：加強(qiáng)成品保護(hù)教育，對(duì)已安裝的成品，或半成品嚴(yán)加保護(hù)，防止被污染及損壞。嚴(yán)格按順序施工，做到銜接合理，避免返工，造成材料浪費(fèi)、成品受損

28）、 龍骨安裝

① 鋼板的吊頂采用65*30C型鋼作為吊頂承重的結(jié)構(gòu)；

② 底龍骨用鋼釘與地面連接，龍骨外側(cè)應(yīng)與基線平齊，底龍骨與豎龍骨間用角鋼兩側(cè)對(duì)夾，豎龍骨與墻體應(yīng)加設(shè)支撐龍骨，同時(shí)也通過(guò)平爆螺絲與房屋衍接在一起；無(wú)塵車(chē)間

③ 墻體連接用自攻螺絲，排列依據(jù)圖紙尺寸及鋼板尺寸定；

④ 按施工程序和金屬壁板安裝工藝節(jié)點(diǎn)具體要求進(jìn)行施工。

⑤ 地馬槽與地坪的連接必須牢固，不得松動(dòng)，用射釘間隔1m左右將地馬槽固定在地面上。地馬槽之間的垂直連接處應(yīng)做好拼縫、角連接或預(yù)留出Ｒ球的位置。

⑥ 壁板與壁板連接必須平整無(wú)凹凸，縫隙均勻，注膠平整光滑。安裝時(shí)用吊線錘控制壁板的垂直度，安裝好的板材做好彼此之間的固定，防止壁板整體傾倒。

⑦ 安裝過(guò)程中不得撕下壁板表面塑料保護(hù)膜，禁止撞擊和踩踏板面。

⑧ 壁板上固定密閉窗，窗框四角鋁合金處理合縫、平整，并且在玻璃安裝之后用橡皮條將玻璃壓緊，甚至需將窗戶上部和兩邊橡皮條帶膠壓實(shí)，以防震動(dòng)，橡皮條脫落。

⑨ 過(guò)濾器送風(fēng)口、回風(fēng)口，施工現(xiàn)場(chǎng)開(kāi)孔，注意避免對(duì)壁板結(jié)構(gòu)的破壞。

⑩ 根據(jù)設(shè)計(jì)要求，潔凈區(qū)內(nèi)壁板與頂板相接形成的各個(gè)陰陽(yáng)角均采用鋁合金圓弧型材連接。

29）、 鋼板與鋼板之間、鋼板與結(jié)構(gòu)（龍骨）之間都用抽芯鉚釘連接，不得與設(shè)備及設(shè)備支架、管線支架連接；

30）、 隔墻、吊頂?shù)墓潭ê偷鯍旒?yīng)與主體結(jié)構(gòu)牢固連接，不得與設(shè)備及設(shè)備支架、管線支架連接；

1 .φ80mm以下工藝管金屬壁板處采用金屬密封套，工藝管由密封套中穿過(guò)，確保穿管牢固。

2. 密封膠應(yīng)平直光滑，不應(yīng)有間隔、外露、毛邊等現(xiàn)象。

3. 壁板安裝同時(shí)要配合好電工，將接地扁鐵與地面很好接觸，以消除靜電現(xiàn)象。

4. 嚴(yán)格控制施工過(guò)程中冷橋形成，外層聚氨酯板入槽后，調(diào)教水平和平整后，對(duì)縫隙進(jìn)行聚氨酯現(xiàn)持發(fā)泡密封，杜絕冷橋產(chǎn)生。吊頂彩板斷口處，用丁鋁裝飾，面上采用聚氨酯現(xiàn)場(chǎng)發(fā)泡密封處理后，根據(jù)縫隙大小，酌情加與薄鋼板密封。

選址原則：無(wú)塵車(chē)間地址的選擇應(yīng)符合有利生產(chǎn)、方便生活、節(jié)省投資和經(jīng)營(yíng)費(fèi)用的原則。廠址應(yīng)設(shè)在自然環(huán)境和水質(zhì)較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利于生產(chǎn)、節(jié)能的區(qū)域,應(yīng)遠(yuǎn)離大量散發(fā)粉塵、煙霧、有毒害氣體和微生物的區(qū)域,如機(jī)場(chǎng)、鐵路、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導(dǎo)風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)面,且有一定的防護(hù)距離。無(wú)塵車(chē)間與交通主干道間距宜50米以上[1] 。

動(dòng)線規(guī)劃要點(diǎn)：要檢討分析人車(chē)路徑、配管系統(tǒng)、排氣管道、原料搬運(yùn)和作業(yè)的流程等，盡量縮短動(dòng)線，并避免交叉，以防止交叉污染。作業(yè)者、化學(xué)藥品、材料等動(dòng)線勿集中；無(wú)塵車(chē)間四周，宜設(shè)緩沖區(qū)；制造裝置的出入，不要對(duì)作業(yè)產(chǎn)生大影響。

有些空氣凈化系統(tǒng)的空氣，如經(jīng)處理仍不能避免交叉污染時(shí)，則不能循環(huán)使用：固體物料的粉碎、稱(chēng)重、配料、混合、制料、壓片、包衣、灌裝等工序；用有機(jī)溶媒精制的原料藥精制、干燥工序；放射性藥品生產(chǎn)區(qū)；病原體操作區(qū)；工藝過(guò)程中產(chǎn)生大量有害物質(zhì)、揮發(fā)性氣體的生產(chǎn)工序；固體口服制劑的顆料

節(jié)能原則：無(wú)塵車(chē)間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)（HVAC）、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過(guò)了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過(guò)剩，很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠時(shí)走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。高效率的設(shè)計(jì)和高效率設(shè)備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費(fèi)”的所謂捷徑和削減成本，會(huì)造成工廠的運(yùn)行性能降低和能耗增加。 對(duì)已建成工廠的改建通常會(huì)陷入到毫無(wú)意義的經(jīng)濟(jì)漩渦當(dāng)中